要檢查的層越薄,檢測(cè)器的選擇就越重要。 FISCHERSCOPE?X-RAY XDAL?系列包含幾個(gè)不同的模型。 PIN檢測(cè)器可用于材料分析和涂層厚度測(cè)量。 如果需要超高精度分析,則硅漂移檢測(cè)器是很好的選擇。
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特征? 通用儀器,用于自動(dòng)測(cè)量薄膜和超薄薄膜(<0.05μm),以及用于ppm級(jí)范圍內(nèi)的材料分析? 帶鎢陽極的微聚焦管 ? 3倍可更換初級(jí)過濾器 ? 4倍可更換光圈 ? 不同半導(dǎo)體檢測(cè)器的選件(硅PIN檢測(cè)器; SDD 20mm2; SDD 50mm2) ? 保護(hù)的儀器,根據(jù)德國輻射防護(hù)法獲得型式認(rèn)可 |
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帶有50mm2硅漂移檢測(cè)器的版本也適用于RoHS測(cè)量。 |
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